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電容式和電阻式微位移傳感器
 
錄入時間:2019-01-22 10:38:34瀏覽次數:1
 

盡管微位移機構可以實現很高的位移分辨率,但為了能夠獲得可靠的應用,仍需要位置檢測傳感器。考慮到微位移機構的特點,目前測量微位移的裝置除了光柵測量系統和激光干涉儀測量系統外,還有電阻應變式微位移傳感器和電容式微位移傳感器等。
   電阻應變式微位移傳感器是將待測位移轉換力電阻量變化的裝置,主要由彈性體、電阻應變敏感元件和變換電路等組成。用電阻應變式微位移傳感器組成位置閉環控制系統,可以將傳感器和微位移驅動器集成于一體,而無需附加機構,所以靈敏度高、體積小、成本低、位移分辨率較高,但非線性誤差較大,易受溫度影響。
    電容式微位移傳感器是將待測位移轉換為電容量變化的裝置。它實質上是一個具有可變參數的電容器。根據電容器參數的變化,可分為極距變化型、面積變化型和介質變化型三種。在實際應用中.常用的是極距變化型和面積變化型位移傳感器。面積變化型電容傳感器的優點是輸入與輸出成線性關系,但與權距變化型相比,它的靈敏度較低,僅適用于測量較大位移的場合。電容式微位移傳感器實現了非接觸測量,它以板級間的電場力代替了測頭與被測件的表面接觸,而又由于板級間的電場力極其微弱,不會產生遲滯和變形,消除了接觸式測量由于表面應力給測量帶來的不利影響,因而這種方法在納米級檢測、納米加工領域得到了廣泛的應用。

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