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利用MEMS技術，將傳統(tǒng)的化學量傳感器進行微型化，是MEMS技術的研究方向之一。與物理量光電開關傳感器不同的是，這種傳感器的敏感元件上需要有可以與被檢測分子產生相互作用的物質，因此傳感器的設計不僅需要考慮MEMS工藝，還需要考慮敏感物質在元件表面的制作問題。 基于MEMS的新型微結構氣敏傳感器，主要有硅基微結構氣敏傳感器和硅微結構氣敏傳感器。硅基微結構氣敏傳感器是襯底為硅，敏感層為非硅材料的微結構氣敏傳感器，主要有金屬氧化物半導體、固體電解質型、電容型、諧振器型。硅微結構氣敏傳感器主要是金屬氧化物半導體場效應管MOSFET型和鈀金屬絕緣體半導體MIS二極管型。MEMS技術將傳感器與IC電路集成一起，而且精度高、體積小、質量輕、功耗低、選擇性好、穩(wěn)定性高，同種器件之間的互換性好，可批量生產，所以是傳感器工藝的發(fā)展方向，而且基本所有的傳感器都可以用MEMS技術生產。 |
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